北京科技大学学报
北京科技大學學報
북경과기대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY BEIJING
2008年
5期
513-516
,共4页
姜宏伟%季红%周丽萍%王艾玲%郑鹉
薑宏偉%季紅%週麗萍%王艾玲%鄭鵡
강굉위%계홍%주려평%왕애령%정무
磁性薄膜%缓冲层%各向异性磁致电阻%织构%晶粒尺寸
磁性薄膜%緩遲層%各嚮異性磁緻電阻%織構%晶粒呎吋
자성박막%완충층%각향이성자치전조%직구%정립척촌
用磁控溅射法制备了以NiFeCr和Ta分别为缓冲层的两种NiCo薄膜样品,在不同温度下对两种样品退火. 结果表明:在NiCo厚度相同的情况下,以NiFeCr作为缓冲层的样品的各向异性磁致电阻(AMR)值明显高于Ta作为缓冲层的样品. X射线衍射(XRD)的结果表明,NiFeCr/NiCo薄膜的晶粒平均尺寸大于Ta/NiCo薄膜,且两种样品的磁膜/缓冲层界面存在较大差异,这可能是造成两者AMR差异的原因. 此外,对样品进行温度适当的热处理可以明显改善薄膜的物理性质.
用磁控濺射法製備瞭以NiFeCr和Ta分彆為緩遲層的兩種NiCo薄膜樣品,在不同溫度下對兩種樣品退火. 結果錶明:在NiCo厚度相同的情況下,以NiFeCr作為緩遲層的樣品的各嚮異性磁緻電阻(AMR)值明顯高于Ta作為緩遲層的樣品. X射線衍射(XRD)的結果錶明,NiFeCr/NiCo薄膜的晶粒平均呎吋大于Ta/NiCo薄膜,且兩種樣品的磁膜/緩遲層界麵存在較大差異,這可能是造成兩者AMR差異的原因. 此外,對樣品進行溫度適噹的熱處理可以明顯改善薄膜的物理性質.
용자공천사법제비료이NiFeCr화Ta분별위완충층적량충NiCo박막양품,재불동온도하대량충양품퇴화. 결과표명:재NiCo후도상동적정황하,이NiFeCr작위완충층적양품적각향이성자치전조(AMR)치명현고우Ta작위완충층적양품. X사선연사(XRD)적결과표명,NiFeCr/NiCo박막적정립평균척촌대우Ta/NiCo박막,차량충양품적자막/완충층계면존재교대차이,저가능시조성량자AMR차이적원인. 차외,대양품진행온도괄당적열처리가이명현개선박막적물이성질.
