大学物理
大學物理
대학물리
COLLEGE PHYSICS
2008年
1期
56-58
,共3页
椭偏测厚仪%真实厚度%最大可测周期数%图形表示
橢偏測厚儀%真實厚度%最大可測週期數%圖形錶示
타편측후의%진실후도%최대가측주기수%도형표시
用椭偏测厚仪可以测量薄膜一个周期内的厚度和折射率.本文从理论上分析了采用变入射角确定薄膜的真实厚度时,存在最大可测厚度周期数和最大可测薄膜真实厚度,同时用图形形象描述了周期数、厚度周期、一个周期内的厚度、真实厚度之间的关系及它们与入射角的关系.
用橢偏測厚儀可以測量薄膜一箇週期內的厚度和摺射率.本文從理論上分析瞭採用變入射角確定薄膜的真實厚度時,存在最大可測厚度週期數和最大可測薄膜真實厚度,同時用圖形形象描述瞭週期數、厚度週期、一箇週期內的厚度、真實厚度之間的關繫及它們與入射角的關繫.
용타편측후의가이측량박막일개주기내적후도화절사솔.본문종이론상분석료채용변입사각학정박막적진실후도시,존재최대가측후도주기수화최대가측박막진실후도,동시용도형형상묘술료주기수、후도주기、일개주기내적후도、진실후도지간적관계급타문여입사각적관계.
