CAJ | 학술논문

制备了4种具有不同光窗口台面结构的4H-SiC紫外探测器#1,#2,#3和#4,并分别测试它们的紫外光响应谱.器件制备在4H-SiC同质外延层上,台面为垂直结构,其中探测器#1光窗口区由透明Pt层、p+层、p层、n层和n+衬底组成.在探测器#1的基础上用离子刻蚀的方法分别剥离透明Pt层、透明Pt层和p+层、透明Pt层和层以及p层制备出探测器#2,#3和#4.器件的紫外光响应谱表明,紫外响应率最好的是探测器#2,其次是探测器#4,#1,#3,其中探测器#2比其他类型的探测器响应率高1个数量级;4种类型的探测器峰值响应位置各不相同,其中探测器#1位于341nm处,探测器#2,#3和#4分别在312,305和297nm处.
제비료4충구유불동광창구태면결구적4H-SiC자외탐측기#1,#2,#3화#4,병분별측시타문적자외광향응보.기건제비재4H-SiC동질외연층상,태면위수직결구,기중탐측기#1광창구구유투명Pt층、p+층、p층、n층화n+츤저조성.재탐측기#1적기출상용리자각식적방법분별박리투명Pt층、투명Pt층화p+층、투명Pt층화층이급p층제비출탐측기#2,#3화#4.기건적자외광향응보표명,자외향응솔최호적시탐측기#2,기차시탐측기#4,#1,#3,기중탐측기#2비기타류형적탐측기향응솔고1개수량급;4충류형적탐측기봉치향응위치각불상동,기중탐측기#1위우341nm처,탐측기#2,#3화#4분별재312,305화297nm처.