稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2007年
z2期
446-448
,共3页
Cu金属化%LTCC%共烧工艺
Cu金屬化%LTCC%共燒工藝
Cu금속화%LTCC%공소공예
从PMMA型LTCC素坯膜的制备和PMMA的排胶机理两方面,研究了LTCC基板Cu共烧金属化.结果表明,采用PMMA作为粘结剂的流延浆料具有剪切变稀行为,所得的流延坯膜微观组织均匀,叠压后坯体内部无分层现象.热失重、差热和傅立叶红外光谱联用分析结果表明高纯N2气氛中PMMA以解聚机理热解,热解后释放的主要产物为丙烯酸甲酯.在高纯N2气氛中LTCC与Cu共烧后Cu金属化膜平整、致密,连通良好.经测试,基板表面Cu导体方阻小于5 mΩ/□.
從PMMA型LTCC素坯膜的製備和PMMA的排膠機理兩方麵,研究瞭LTCC基闆Cu共燒金屬化.結果錶明,採用PMMA作為粘結劑的流延漿料具有剪切變稀行為,所得的流延坯膜微觀組織均勻,疊壓後坯體內部無分層現象.熱失重、差熱和傅立葉紅外光譜聯用分析結果錶明高純N2氣氛中PMMA以解聚機理熱解,熱解後釋放的主要產物為丙烯痠甲酯.在高純N2氣氛中LTCC與Cu共燒後Cu金屬化膜平整、緻密,連通良好.經測試,基闆錶麵Cu導體方阻小于5 mΩ/□.
종PMMA형LTCC소배막적제비화PMMA적배효궤리량방면,연구료LTCC기판Cu공소금속화.결과표명,채용PMMA작위점결제적류연장료구유전절변희행위,소득적류연배막미관조직균균,첩압후배체내부무분층현상.열실중、차열화부립협홍외광보련용분석결과표명고순N2기분중PMMA이해취궤리열해,열해후석방적주요산물위병희산갑지.재고순N2기분중LTCC여Cu공소후Cu금속화막평정、치밀,련통량호.경측시,기판표면Cu도체방조소우5 mΩ/□.
