CAJ | 학술논문

微等离子体已成为近年来国际上低温等离子体研究的热点课题之一.微等离子体是被限制在一个有限的空间范围内(尺度为毫米量级甚至更低)的等离子体,它通常能够运行在大气压条件下,它的低功耗、高密度、高稳定等特性以及其小巧、经济、便携等优势,为其在紫外光源的获得、微化学分析系统、生物医学、材料表面改性和加工、环境污染物的处理等领域提供了广泛的应用空间.文章对微等离子体及其应用进行了综述,介绍了各种微等离子体源的产生方法,以及它们在不同领域的研究和应用情况.
미등리자체이성위근년래국제상저온등리자체연구적열점과제지일.미등리자체시피한제재일개유한적공간범위내(척도위호미량급심지경저)적등리자체,타통상능구운행재대기압조건하,타적저공모、고밀도、고은정등특성이급기소교、경제、편휴등우세,위기재자외광원적획득、미화학분석계통、생물의학、재료표면개성화가공、배경오염물적처리등영역제공료엄범적응용공간.문장대미등리자체급기응용진행료종술,개소료각충미등리자체원적산생방법,이급타문재불동영역적연구화응용정황.