昆明冶金高等专科学校学报
昆明冶金高等專科學校學報
곤명야금고등전과학교학보
JOURNAL OF KUNMING METALLURGY COLLEGE
2007年
5期
29-32
,共4页
电容式加速度计%结构设计%定齿偏置梳齿结构
電容式加速度計%結構設計%定齒偏置梳齒結構
전용식가속도계%결구설계%정치편치소치결구
MEMS电容式加速度计具有灵敏度高、噪音低、漂移小、功耗低、结构简单等优点,有着广泛的应用前景.综合比较了电容式加速度计的三种常见结构的各自特点,指出了定齿偏置结构的梳齿式微机械加速度计的优点,并以该结构为分析对象,从加速度计的量程、稳定性、灵敏度等性能分析比较了多种结构梁,得出折叠梁的综合性能最好的结论,最后通过分析计算出了折叠梁在检测方向的刚度.
MEMS電容式加速度計具有靈敏度高、譟音低、漂移小、功耗低、結構簡單等優點,有著廣汎的應用前景.綜閤比較瞭電容式加速度計的三種常見結構的各自特點,指齣瞭定齒偏置結構的梳齒式微機械加速度計的優點,併以該結構為分析對象,從加速度計的量程、穩定性、靈敏度等性能分析比較瞭多種結構樑,得齣摺疊樑的綜閤性能最好的結論,最後通過分析計算齣瞭摺疊樑在檢測方嚮的剛度.
MEMS전용식가속도계구유령민도고、조음저、표이소、공모저、결구간단등우점,유착엄범적응용전경.종합비교료전용식가속도계적삼충상견결구적각자특점,지출료정치편치결구적소치식미궤계가속도계적우점,병이해결구위분석대상,종가속도계적량정、은정성、령민도등성능분석비교료다충결구량,득출절첩량적종합성능최호적결론,최후통과분석계산출료절첩량재검측방향적강도.
