微电子学
微電子學
미전자학
MICROELECTRONICS
2007年
4期
548-552
,共5页
欧宏旗%刘伦才%胡明雨%税国华
歐宏旂%劉倫纔%鬍明雨%稅國華
구굉기%류륜재%호명우%세국화
互补双极工艺%隔离技术%PNP晶体管%高速放大器
互補雙極工藝%隔離技術%PNP晶體管%高速放大器
호보쌍겁공예%격리기술%PNP정체관%고속방대기
介绍了几种互补双极工艺的结构和特点,详细阐述了一种基于N型外延的PN结隔离互补双极工艺;着重探讨了隔离制作技术和PNP管设计要点,并对实际流片结果进行了讨论.
介紹瞭幾種互補雙極工藝的結構和特點,詳細闡述瞭一種基于N型外延的PN結隔離互補雙極工藝;著重探討瞭隔離製作技術和PNP管設計要點,併對實際流片結果進行瞭討論.
개소료궤충호보쌍겁공예적결구화특점,상세천술료일충기우N형외연적PN결격리호보쌍겁공예;착중탐토료격리제작기술화PNP관설계요점,병대실제류편결과진행료토론.
