中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2006年
4期
401-405
,共5页
微机电系统%集总参数宏模型%微机械陀螺%多域耦合分析
微機電繫統%集總參數宏模型%微機械陀螺%多域耦閤分析
미궤전계통%집총삼수굉모형%미궤계타라%다역우합분석
对微机械陀螺中静电、结构、空气阻尼等物理域进行有效分离,在分别对各域进行数值模拟的基础上提取相应的物理参数,建立集总参数模型.在考虑边缘效应的情况下,提取了微结构电容与位移的解析表达式;根据热-流体类似方法,提取了阻尼孔结构的阻尼系数和压膜刚度;根据结构动力学理论,由模态分析提取结构的有效刚度和有效质量.将这些物理参数综合在系统仿真器中与外围电路共同进行仿真,准确地评估不同条件下微机械陀螺的行为特性.
對微機械陀螺中靜電、結構、空氣阻尼等物理域進行有效分離,在分彆對各域進行數值模擬的基礎上提取相應的物理參數,建立集總參數模型.在攷慮邊緣效應的情況下,提取瞭微結構電容與位移的解析錶達式;根據熱-流體類似方法,提取瞭阻尼孔結構的阻尼繫數和壓膜剛度;根據結構動力學理論,由模態分析提取結構的有效剛度和有效質量.將這些物理參數綜閤在繫統倣真器中與外圍電路共同進行倣真,準確地評估不同條件下微機械陀螺的行為特性.
대미궤계타라중정전、결구、공기조니등물리역진행유효분리,재분별대각역진행수치모의적기출상제취상응적물리삼수,건립집총삼수모형.재고필변연효응적정황하,제취료미결구전용여위이적해석표체식;근거열-류체유사방법,제취료조니공결구적조니계수화압막강도;근거결구동역학이론,유모태분석제취결구적유효강도화유효질량.장저사물리삼수종합재계통방진기중여외위전로공동진행방진,준학지평고불동조건하미궤계타라적행위특성.
