红外技术
紅外技術
홍외기술
INFRARED TECHNOLOGY
2006年
3期
125-128
,共4页
张国栋%龚启兵%苏宏毅%王海珍%郑克霖
張國棟%龔啟兵%囌宏毅%王海珍%鄭剋霖
장국동%공계병%소굉의%왕해진%정극림
焦平面阵列%倒装互连%可靠性
焦平麵陣列%倒裝互連%可靠性
초평면진렬%도장호련%가고성
介绍了为保证倒装焊接性能,设备所采取的措施.对比了不同形貌铟柱的优缺点,分析了互连可靠性与铟柱高度的关系,介绍了考核互连可靠性的方法.通过互连技术研究,我们实现了较高性能的倒装互连,互连条件选择温度在60℃～140℃范围,压力范围0.1克/铟柱～0.5克/铟柱.互连连通率＞99.9%,互连后的芯片组件在低温(77K)与常温(23℃)间不少于100次的反复冲击的情况下,测试接触性能及InSb二极管性能都无变化,满足了互连器件可靠性要求.
介紹瞭為保證倒裝銲接性能,設備所採取的措施.對比瞭不同形貌銦柱的優缺點,分析瞭互連可靠性與銦柱高度的關繫,介紹瞭攷覈互連可靠性的方法.通過互連技術研究,我們實現瞭較高性能的倒裝互連,互連條件選擇溫度在60℃～140℃範圍,壓力範圍0.1剋/銦柱～0.5剋/銦柱.互連連通率＞99.9%,互連後的芯片組件在低溫(77K)與常溫(23℃)間不少于100次的反複遲擊的情況下,測試接觸性能及InSb二極管性能都無變化,滿足瞭互連器件可靠性要求.
개소료위보증도장한접성능,설비소채취적조시.대비료불동형모인주적우결점,분석료호련가고성여인주고도적관계,개소료고핵호련가고성적방법.통과호련기술연구,아문실현료교고성능적도장호련,호련조건선택온도재60℃～140℃범위,압력범위0.1극/인주～0.5극/인주.호련련통솔＞99.9%,호련후적심편조건재저온(77K)여상온(23℃)간불소우100차적반복충격적정황하,측시접촉성능급InSb이겁관성능도무변화,만족료호련기건가고성요구.
