微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2006年
1期
13-15,26
,共4页
自动传输片%机械手%电子束曝光机
自動傳輸片%機械手%電子束曝光機
자동전수편%궤계수%전자속폭광궤
以前的传输片机械手由于采用双浮动滑板结构来实现各个状态的定位,长时间使用易导致机械磨损、弹簧应力疲劳等,出现机械手碰撞片夹或抓不到片等现象,难以实现高精度、高可靠性的定位.研究中的传输片机械手采用卡尔登直线运动机构配合两根导向动轴以达到长期运行的稳定性及可靠性,克服了原传输片机构存在的上述问题,且动作过程有所简化,机构体积大大缩小,动作可靠性和准确度显著提高.介绍了传输片机械手的功能、组成及其结构设计,叙述了传输片机械手的动作原理和系统控制流程.
以前的傳輸片機械手由于採用雙浮動滑闆結構來實現各箇狀態的定位,長時間使用易導緻機械磨損、彈簧應力疲勞等,齣現機械手踫撞片夾或抓不到片等現象,難以實現高精度、高可靠性的定位.研究中的傳輸片機械手採用卡爾登直線運動機構配閤兩根導嚮動軸以達到長期運行的穩定性及可靠性,剋服瞭原傳輸片機構存在的上述問題,且動作過程有所簡化,機構體積大大縮小,動作可靠性和準確度顯著提高.介紹瞭傳輸片機械手的功能、組成及其結構設計,敘述瞭傳輸片機械手的動作原理和繫統控製流程.
이전적전수편궤계수유우채용쌍부동활판결구래실현각개상태적정위,장시간사용역도치궤계마손、탄황응력피로등,출현궤계수팽당편협혹조불도편등현상,난이실현고정도、고가고성적정위.연구중적전수편궤계수채용잡이등직선운동궤구배합량근도향동축이체도장기운행적은정성급가고성,극복료원전수편궤구존재적상술문제,차동작과정유소간화,궤구체적대대축소,동작가고성화준학도현저제고.개소료전수편궤계수적공능、조성급기결구설계,서술료전수편궤계수적동작원리화계통공제류정.
