南昌大学学报（理科版）
南昌大學學報（理科版）
남창대학학보（이과판）
JOURNAL OF NANCHANG UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2006年
1期
63-67,102
,共6页
晶格失配度%体结构%二维晶格%半导体外延层
晶格失配度%體結構%二維晶格%半導體外延層
정격실배도%체결구%이유정격%반도체외연층
比较了晶格失配度的各种定义,建议统一使用同一定义.采用简化模型系统地探讨了各种情况下半导体外延生长层和衬底的二维晶格失配度的计算,最后讨论了结合XRD衍射图谱确定失配度的方法.结果表明,正三角形晶格和长方形晶格匹配,长方形晶格的宽列原子的匹配具有优先性,不受长列原子匹配的影响.长方形的长宽比接近匹配比时,整体匹配较好.
比較瞭晶格失配度的各種定義,建議統一使用同一定義.採用簡化模型繫統地探討瞭各種情況下半導體外延生長層和襯底的二維晶格失配度的計算,最後討論瞭結閤XRD衍射圖譜確定失配度的方法.結果錶明,正三角形晶格和長方形晶格匹配,長方形晶格的寬列原子的匹配具有優先性,不受長列原子匹配的影響.長方形的長寬比接近匹配比時,整體匹配較好.
비교료정격실배도적각충정의,건의통일사용동일정의.채용간화모형계통지탐토료각충정황하반도체외연생장층화츤저적이유정격실배도적계산,최후토론료결합XRD연사도보학정실배도적방법.결과표명,정삼각형정격화장방형정격필배,장방형정격적관렬원자적필배구유우선성,불수장렬원자필배적영향.장방형적장관비접근필배비시,정체필배교호.
