功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2004年
z1期
2246-2248
,共3页
顾广瑞%金逢锡%李全军%盖同祥%李英爱%赵永年
顧廣瑞%金逢錫%李全軍%蓋同祥%李英愛%趙永年
고엄서%금봉석%리전군%개동상%리영애%조영년
氮化硼薄膜%场发射%氢等离子体%氧等离子体
氮化硼薄膜%場髮射%氫等離子體%氧等離子體
담화붕박막%장발사%경등리자체%양등리자체
利用射频磁控溅射方法,在n型(100)Si基底上沉积了氮化硼(BN)薄膜,红外光谱测试表明,所有样品为六角氮化硼(h-BN)结构.经过氢、氧等离子体处理之后,在超高真空系统中测量了BN薄膜的场发射特性.实验结果表明,经过氢等离子体处理后BN薄膜的场发射开启电场明显降低,发射电流明显升高;而氧等离子体处理前后对h-BN薄膜的场发射特性影响不大,只是发射电流略有降低.不同样品的Fowler-Nordheim(F-N)曲线均为直线,表明电子发射是通过隧穿BN表面势垒发射到真空.
利用射頻磁控濺射方法,在n型(100)Si基底上沉積瞭氮化硼(BN)薄膜,紅外光譜測試錶明,所有樣品為六角氮化硼(h-BN)結構.經過氫、氧等離子體處理之後,在超高真空繫統中測量瞭BN薄膜的場髮射特性.實驗結果錶明,經過氫等離子體處理後BN薄膜的場髮射開啟電場明顯降低,髮射電流明顯升高;而氧等離子體處理前後對h-BN薄膜的場髮射特性影響不大,隻是髮射電流略有降低.不同樣品的Fowler-Nordheim(F-N)麯線均為直線,錶明電子髮射是通過隧穿BN錶麵勢壘髮射到真空.
이용사빈자공천사방법,재n형(100)Si기저상침적료담화붕(BN)박막,홍외광보측시표명,소유양품위륙각담화붕(h-BN)결구.경과경、양등리자체처리지후,재초고진공계통중측량료BN박막적장발사특성.실험결과표명,경과경등리자체처리후BN박막적장발사개계전장명현강저,발사전류명현승고;이양등리자체처리전후대h-BN박막적장발사특성영향불대,지시발사전류략유강저.불동양품적Fowler-Nordheim(F-N)곡선균위직선,표명전자발사시통과수천BN표면세루발사도진공.
