传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2004年
12期
82-85
,共4页
陈雪萌%宋朝晖%李欣昕%王跃林%张鲲%焦继伟%杨恒
陳雪萌%宋朝暉%李訢昕%王躍林%張鯤%焦繼偉%楊恆
진설맹%송조휘%리흔흔%왕약림%장곤%초계위%양항
陀螺%压阻%深反应离子刻蚀
陀螺%壓阻%深反應離子刻蝕
타라%압조%심반응리자각식
设计与制造了一种高灵敏度的硅微机械陀螺.陀螺用静电来驱动,用连接成惠斯顿电桥的压阻式力敏电阻应变计来检测.主梁、微梁-质量块结构实现了高灵敏度.比较硬的主梁提供了一定的机械强度,并且提供了高共振频率.微梁很细,检测时微梁沿轴向直拉直压.力敏电阻应变计就扩散在微梁上,质量块很小的挠动就能在微梁上产生很大的应力,输出很大的信号.5V条件下,陀螺检测部分的理论灵敏度达到27.45mV/gn.压阻式四端器件用来监测驱动振幅,可以反馈补偿压阻的温度系数. 检测模态的Q值达260使陀螺能在大气下工作.陀螺利用普通的n型硅片制造,为了刻蚀高深宽比的结构,使用了深反应离子刻蚀(DRIE)工艺.
設計與製造瞭一種高靈敏度的硅微機械陀螺.陀螺用靜電來驅動,用連接成惠斯頓電橋的壓阻式力敏電阻應變計來檢測.主樑、微樑-質量塊結構實現瞭高靈敏度.比較硬的主樑提供瞭一定的機械彊度,併且提供瞭高共振頻率.微樑很細,檢測時微樑沿軸嚮直拉直壓.力敏電阻應變計就擴散在微樑上,質量塊很小的撓動就能在微樑上產生很大的應力,輸齣很大的信號.5V條件下,陀螺檢測部分的理論靈敏度達到27.45mV/gn.壓阻式四耑器件用來鑑測驅動振幅,可以反饋補償壓阻的溫度繫數. 檢測模態的Q值達260使陀螺能在大氣下工作.陀螺利用普通的n型硅片製造,為瞭刻蝕高深寬比的結構,使用瞭深反應離子刻蝕(DRIE)工藝.
설계여제조료일충고령민도적규미궤계타라.타라용정전래구동,용련접성혜사돈전교적압조식력민전조응변계래검측.주량、미량-질량괴결구실현료고령민도.비교경적주량제공료일정적궤계강도,병차제공료고공진빈솔.미량흔세,검측시미량연축향직랍직압.력민전조응변계취확산재미량상,질량괴흔소적뇨동취능재미량상산생흔대적응력,수출흔대적신호.5V조건하,타라검측부분적이론령민도체도27.45mV/gn.압조식사단기건용래감측구동진폭,가이반궤보상압조적온도계수. 검측모태적Q치체260사타라능재대기하공작.타라이용보통적n형규편제조,위료각식고심관비적결구,사용료심반응리자각식(DRIE)공예.
