机械与电子
機械與電子
궤계여전자
MACHINERY & ELECTRONICS
2001年
4期
16-17
,共2页
陈绍丽%吴俊民%孟宪超
陳紹麗%吳俊民%孟憲超
진소려%오준민%맹헌초
净化搬运机械手%晶片架%洁净微环境
淨化搬運機械手%晶片架%潔淨微環境
정화반운궤계수%정편가%길정미배경
介绍净化搬运机械手的总体结构和主从配置的控制系统。它能在完成工作的同时，又能与洁净微环境接口密闭。经实际应用，效果良好。
介紹淨化搬運機械手的總體結構和主從配置的控製繫統。它能在完成工作的同時，又能與潔淨微環境接口密閉。經實際應用，效果良好。
개소정화반운궤계수적총체결구화주종배치적공제계통。타능재완성공작적동시，우능여길정미배경접구밀폐。경실제응용，효과량호。
