电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2001年
4期
33-34
,共2页
邢爱堂%靳梅%王冬青%陈景标
邢愛堂%靳梅%王鼕青%陳景標
형애당%근매%왕동청%진경표
TSUPREM-4%集成电路制造工艺%工艺仿真
TSUPREM-4%集成電路製造工藝%工藝倣真
TSUPREM-4%집성전로제조공예%공예방진
结合集成电路制造工艺仿真系统TSUPREM的发展历史,回顾了集成电路工艺仿真技术的发展,并着重介绍了Avanti公司的深亚微米工艺仿真系统TSUPREM-4 1999.4.
結閤集成電路製造工藝倣真繫統TSUPREM的髮展歷史,迴顧瞭集成電路工藝倣真技術的髮展,併著重介紹瞭Avanti公司的深亞微米工藝倣真繫統TSUPREM-4 1999.4.
결합집성전로제조공예방진계통TSUPREM적발전역사,회고료집성전로공예방진기술적발전,병착중개소료Avanti공사적심아미미공예방진계통TSUPREM-4 1999.4.
