射频/直流磁控溅射316L不锈钢/陶瓷复合薄膜组织与性能的研究*
사빈/직류자공천사316L불수강/도자복합박막조직여성능적연구*
Researches on Microstructure and Properties of Stainless Steel/Ceramic Composite Films Prepared by RF/DC Sputtering
  • 万方数据
    材料导报 재료도보
    MATERIALS REVIEW
    2001年 4期 61-64 ,共4页

    胡社军%温伟祥%曾鹏%吴起白%谢光荣%黄拿灿%胡显奇%盛钢%盛忠

    호사군%온위상%증붕%오기백%사광영%황나찬%호현기%성강%성충

    司%射频/直流磁控溅射%不锈钢/陶瓷薄膜%组织%性能 司%射頻/直流磁控濺射%不鏽鋼/陶瓷薄膜%組織%性能
    사%사빈/직류자공천사%불수강/도자박막%조직%성능
    利用射频/直流磁控溅射法,制备了316L不锈钢/SiO2(Al2O3)复合膜,研究了薄膜的组织和形貌,测试了薄膜的显微硬度和耐磨性.结果表明,溅射316L不锈钢薄膜和316L/SiO2(Al2O3)复合薄膜都呈柱状晶结构,主要由Fe-Cr和γ-Fe相构成;溅射316L不锈钢薄膜在Fe-Cr(110)晶面出现明显的择优取向;由于射频溅射陶瓷的掺合,使316L不锈钢/陶瓷复合薄膜柱状晶细化,并出现二次柱状晶,在Fe-Cr(211)晶面出现明显的择优取向,尽管316L不锈钢/陶瓷复合膜的显微硬度相对于磁控溅射316L薄膜提高不大,但其抗磨损性能明显提高,以316L/Al2O3复合膜尤为显著.
    이용사빈/직류자공천사법,제비료316L불수강/SiO2(Al2O3)복합막,연구료박막적조직화형모,측시료박막적현미경도화내마성.결과표명,천사316L불수강박막화316L/SiO2(Al2O3)복합박막도정주상정결구,주요유Fe-Cr화γ-Fe상구성;천사316L불수강박막재Fe-Cr(110)정면출현명현적택우취향;유우사빈천사도자적참합,사316L불수강/도자복합박막주상정세화,병출현이차주상정,재Fe-Cr(211)정면출현명현적택우취향,진관316L불수강/도자복합막적현미경도상대우자공천사316L박막제고불대,단기항마손성능명현제고,이316L/Al2O3복합막우위현저.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문