材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2001年
3期
24-27
,共4页
金刚石薄膜%化学气相沉积%工业应用
金剛石薄膜%化學氣相沉積%工業應用
금강석박막%화학기상침적%공업응용
评述了金刚石薄膜的化学气相沉积方法,介绍了金刚石薄膜在工业中的应用前景,并分析了大规模应用所面临的技术困难.
評述瞭金剛石薄膜的化學氣相沉積方法,介紹瞭金剛石薄膜在工業中的應用前景,併分析瞭大規模應用所麵臨的技術睏難.
평술료금강석박막적화학기상침적방법,개소료금강석박막재공업중적응용전경,병분석료대규모응용소면림적기술곤난.
