工具技术
工具技術
공구기술
TOOL ENGINEERING
2000年
4期
36-38
,共3页
表面粗糙度%在线检测%光散射%半导体激光器
錶麵粗糙度%在線檢測%光散射%半導體激光器
표면조조도%재선검측%광산사%반도체격광기
介绍了基于光散射原理的激光测量装置非接触在线检测表面粗糙度的测量原理及测量头设计方案.调制光源、双光束、与测量光路同轴的高压喷气流、窄带滤波电路等设计可提高信噪比,增强抗干扰能力,可实现Ra2～100nm的表面粗糙度在线检测.
介紹瞭基于光散射原理的激光測量裝置非接觸在線檢測錶麵粗糙度的測量原理及測量頭設計方案.調製光源、雙光束、與測量光路同軸的高壓噴氣流、窄帶濾波電路等設計可提高信譟比,增彊抗榦擾能力,可實現Ra2～100nm的錶麵粗糙度在線檢測.
개소료기우광산사원리적격광측량장치비접촉재선검측표면조조도적측량원리급측량두설계방안.조제광원、쌍광속、여측량광로동축적고압분기류、착대려파전로등설계가제고신조비,증강항간우능력,가실현Ra2～100nm적표면조조도재선검측.
