微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2000年
1期
61-65
,共5页
陈迪%雷蔚%李昌敏%张卫平%蔡炳初
陳迪%雷蔚%李昌敏%張衛平%蔡炳初
진적%뢰위%리창민%장위평%채병초
DEM技术%微复制%微结构
DEM技術%微複製%微結構
DEM기술%미복제%미결구
利用DEM(Deeptching,Electroforming,Microreplication)技术获得的微复制金属模具进行了微复制工艺研究.对微复制工艺参数进行了优化,在PC、PMMA和POM塑料上获得了高深宽比的微结构,并对PC、PMMA和POM和不同图形的微复制效果进行了比较.
利用DEM(Deeptching,Electroforming,Microreplication)技術穫得的微複製金屬模具進行瞭微複製工藝研究.對微複製工藝參數進行瞭優化,在PC、PMMA和POM塑料上穫得瞭高深寬比的微結構,併對PC、PMMA和POM和不同圖形的微複製效果進行瞭比較.
이용DEM(Deeptching,Electroforming,Microreplication)기술획득적미복제금속모구진행료미복제공예연구.대미복제공예삼수진행료우화,재PC、PMMA화POM소료상획득료고심관비적미결구,병대PC、PMMA화POM화불동도형적미복제효과진행료비교.
