功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2000年
2期
159-161
,共3页
李美亚%王忠烈%范守善%赵清太%熊光成%林揆训
李美亞%王忠烈%範守善%趙清太%熊光成%林揆訓
리미아%왕충렬%범수선%조청태%웅광성%림규훈
CeO2薄膜%结晶取向%脉冲激光沉积%气氛氧压
CeO2薄膜%結晶取嚮%脈遲激光沉積%氣氛氧壓
CeO2박막%결정취향%맥충격광침적%기분양압
用脉冲激光镀膜法,在不同的温度和氧压条件下,在Si(100)片上制备了一系列的CeO2膜.X射线衍射分析表明,在较低的氧压下生长的CeO2膜为(111)取向,在较高的氧压下生长的膜则为(100)取向.研究表明,CeO2膜的取向对氧压显示了独特的依赖性,氧压对控制膜的结晶取向具有十分重要的作用.讨论了氧压对CeO2薄膜结晶取向影响的可能机理.
用脈遲激光鍍膜法,在不同的溫度和氧壓條件下,在Si(100)片上製備瞭一繫列的CeO2膜.X射線衍射分析錶明,在較低的氧壓下生長的CeO2膜為(111)取嚮,在較高的氧壓下生長的膜則為(100)取嚮.研究錶明,CeO2膜的取嚮對氧壓顯示瞭獨特的依賴性,氧壓對控製膜的結晶取嚮具有十分重要的作用.討論瞭氧壓對CeO2薄膜結晶取嚮影響的可能機理.
용맥충격광도막법,재불동적온도화양압조건하,재Si(100)편상제비료일계렬적CeO2막.X사선연사분석표명,재교저적양압하생장적CeO2막위(111)취향,재교고적양압하생장적막칙위(100)취향.연구표명,CeO2막적취향대양압현시료독특적의뢰성,양압대공제막적결정취향구유십분중요적작용.토론료양압대CeO2박막결정취향영향적가능궤리.
