材料工程
材料工程
재료공정
JOURNAL OF MATERIALS ENGINEERING
1999年
2期
16-18
,共3页
王西成%曹伟%田杰%莫小洪
王西成%曹偉%田傑%莫小洪
왕서성%조위%전걸%막소홍
锆钛酸铅%溶胶-凝胶%铁电薄膜
鋯鈦痠鉛%溶膠-凝膠%鐵電薄膜
고태산연%용효-응효%철전박막
用无机盐替代锆的醇盐,通过Sol-Gel方法,合成均匀、稳定的PZT溶胶.采用Pt/Ti/SiO2/Si基片并加入PT过渡层,经快速热处理,制备出沿(100)高度定向的PZT陶瓷薄膜,此薄膜具有良好的铁电性能.
用無機鹽替代鋯的醇鹽,通過Sol-Gel方法,閤成均勻、穩定的PZT溶膠.採用Pt/Ti/SiO2/Si基片併加入PT過渡層,經快速熱處理,製備齣沿(100)高度定嚮的PZT陶瓷薄膜,此薄膜具有良好的鐵電性能.
용무궤염체대고적순염,통과Sol-Gel방법,합성균균、은정적PZT용효.채용Pt/Ti/SiO2/Si기편병가입PT과도층,경쾌속열처리,제비출연(100)고도정향적PZT도자박막,차박막구유량호적철전성능.
