真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2002年
5期
329-332
,共4页
杨崇峰%曾葆青%刘阳%杨中海%殷吉昊%钱尚介
楊崇峰%曾葆青%劉暘%楊中海%慇吉昊%錢尚介
양숭봉%증보청%류양%양중해%은길호%전상개
场发射%阴极%金刚石薄膜%计算机模拟
場髮射%陰極%金剛石薄膜%計算機模擬
장발사%음겁%금강석박막%계산궤모의
本文提出共面双栅极金刚石薄膜的场发射阵列阴极(FEAs),它由平行的栅极、共面反射极和长条型的金刚石薄膜场发射体组成.采用PIC粒子模拟软件MAGIC模拟这种结构的电子轨迹、相空间图和发射电流-电压等特性,并与只有栅极时的情况进行对比,表明反射极对电子注有会聚作用,能形成层流性良好的电子注,该结构可应用于场发射平面显示器等真空微电子器件中.
本文提齣共麵雙柵極金剛石薄膜的場髮射陣列陰極(FEAs),它由平行的柵極、共麵反射極和長條型的金剛石薄膜場髮射體組成.採用PIC粒子模擬軟件MAGIC模擬這種結構的電子軌跡、相空間圖和髮射電流-電壓等特性,併與隻有柵極時的情況進行對比,錶明反射極對電子註有會聚作用,能形成層流性良好的電子註,該結構可應用于場髮射平麵顯示器等真空微電子器件中.
본문제출공면쌍책겁금강석박막적장발사진렬음겁(FEAs),타유평행적책겁、공면반사겁화장조형적금강석박막장발사체조성.채용PIC입자모의연건MAGIC모의저충결구적전자궤적、상공간도화발사전류-전압등특성,병여지유책겁시적정황진행대비,표명반사겁대전자주유회취작용,능형성층류성량호적전자주,해결구가응용우장발사평면현시기등진공미전자기건중.
