物理学报
物理學報
물이학보
2002年
4期
863-866
,共4页
林揆训%林璇英%梁厚蕴%池凌飞%余楚迎%黄创君
林揆訓%林璇英%樑厚蘊%池凌飛%餘楚迎%黃創君
림규훈%림선영%량후온%지릉비%여초영%황창군
固相晶化%多晶硅薄膜%非晶硅薄膜
固相晶化%多晶硅薄膜%非晶硅薄膜
고상정화%다정규박막%비정규박막
在镀铝的廉价玻璃衬底上高速沉积的非晶硅薄膜在不同的温度下退火10min.退火温度为500℃时,薄膜表面形成了硅铝的混合相, 非晶硅薄膜开始呈现了晶化现象;退火温度为550℃时,大部分(约80%)的非晶硅晶化为多晶硅,平均晶粒尺寸为500nm;退火温度为600℃时,几乎所有的非晶硅都转化为多晶硅,其平均晶粒尺寸约为1.5μm.
在鍍鋁的廉價玻璃襯底上高速沉積的非晶硅薄膜在不同的溫度下退火10min.退火溫度為500℃時,薄膜錶麵形成瞭硅鋁的混閤相, 非晶硅薄膜開始呈現瞭晶化現象;退火溫度為550℃時,大部分(約80%)的非晶硅晶化為多晶硅,平均晶粒呎吋為500nm;退火溫度為600℃時,幾乎所有的非晶硅都轉化為多晶硅,其平均晶粒呎吋約為1.5μm.
재도려적렴개파리츤저상고속침적적비정규박막재불동적온도하퇴화10min.퇴화온도위500℃시,박막표면형성료규려적혼합상, 비정규박막개시정현료정화현상;퇴화온도위550℃시,대부분(약80%)적비정규정화위다정규,평균정립척촌위500nm;퇴화온도위600℃시,궤호소유적비정규도전화위다정규,기평균정립척촌약위1.5μm.
