摩擦学学报
摩抆學學報
마찰학학보
TRIBOLOGY
2002年
3期
175-179
,共5页
韩修训%阎鹏勋%阎逢元%刘维民%余画洋%徐建伟%吴志国
韓脩訓%閻鵬勛%閻逢元%劉維民%餘畫洋%徐建偉%吳誌國
한수훈%염붕훈%염봉원%류유민%여화양%서건위%오지국
TiN%涂层%磁过滤阴极弧等离子体%纳米压入%PVD%结构%性能
TiN%塗層%磁過濾陰極弧等離子體%納米壓入%PVD%結構%性能
TiN%도층%자과려음겁호등리자체%납미압입%PVD%결구%성능
分别利用磁过滤阴极弧等离子体沉积装置和直流磁控溅射装置在不锈钢基底上制备了TiN涂层,采用X射线光电子能谱仪、X射线衍射仪和扫描电子显微镜对涂层的结构及形貌进行了表征;利用纳米压痕仪测定了涂层的硬度;在DF-PM型动摩擦系数精密测定仪上考察了涂层的摩擦学性能.结果表明:与采用直流磁控溅射法在400 ℃基底上制备的TiN涂层相比,采用磁过滤沉积装置在室温下制备的TiN涂层更加致密,表面平滑,最大硬度达35 GPa,摩擦系数明显较小(0.1～0.4),耐磨性较好.
分彆利用磁過濾陰極弧等離子體沉積裝置和直流磁控濺射裝置在不鏽鋼基底上製備瞭TiN塗層,採用X射線光電子能譜儀、X射線衍射儀和掃描電子顯微鏡對塗層的結構及形貌進行瞭錶徵;利用納米壓痕儀測定瞭塗層的硬度;在DF-PM型動摩抆繫數精密測定儀上攷察瞭塗層的摩抆學性能.結果錶明:與採用直流磁控濺射法在400 ℃基底上製備的TiN塗層相比,採用磁過濾沉積裝置在室溫下製備的TiN塗層更加緻密,錶麵平滑,最大硬度達35 GPa,摩抆繫數明顯較小(0.1～0.4),耐磨性較好.
분별이용자과려음겁호등리자체침적장치화직류자공천사장치재불수강기저상제비료TiN도층,채용X사선광전자능보의、X사선연사의화소묘전자현미경대도층적결구급형모진행료표정;이용납미압흔의측정료도층적경도;재DF-PM형동마찰계수정밀측정의상고찰료도층적마찰학성능.결과표명:여채용직류자공천사법재400 ℃기저상제비적TiN도층상비,채용자과려침적장치재실온하제비적TiN도층경가치밀,표면평활,최대경도체35 GPa,마찰계수명현교소(0.1～0.4),내마성교호.
