机械研究与应用
機械研究與應用
궤계연구여응용
MECHANICAL RESEARCH & APPLICATION
2003年
3期
49-50
,共2页
任万才%达国祖%李培勋%王天民
任萬纔%達國祖%李培勛%王天民
임만재%체국조%리배훈%왕천민
类金刚石薄膜%聚合物热解%碳源物质
類金剛石薄膜%聚閤物熱解%碳源物質
류금강석박막%취합물열해%탄원물질
采用热处理涂覆在基体上的聚合物的方式得到类金刚石薄膜, 所能得到的类金刚石薄膜的厚度是有限的.采用再次或多次涂覆的方法可以解决这个问题,但是薄膜的质量并不理想.采用惰性气体把溶于四氢呋喃的苯甲酸萘,二甲苯萘以及溶于四氢呋喃的聚合物带入反应室,作为碳源物质参与类金刚石薄膜的合成.结果表明,在热处理过程中通入的碳源物质在不同程度上都有利于类金刚石薄膜中sp2和sp3碳的增加,薄膜的质量得到提高.
採用熱處理塗覆在基體上的聚閤物的方式得到類金剛石薄膜, 所能得到的類金剛石薄膜的厚度是有限的.採用再次或多次塗覆的方法可以解決這箇問題,但是薄膜的質量併不理想.採用惰性氣體把溶于四氫呋喃的苯甲痠萘,二甲苯萘以及溶于四氫呋喃的聚閤物帶入反應室,作為碳源物質參與類金剛石薄膜的閤成.結果錶明,在熱處理過程中通入的碳源物質在不同程度上都有利于類金剛石薄膜中sp2和sp3碳的增加,薄膜的質量得到提高.
채용열처리도복재기체상적취합물적방식득도류금강석박막, 소능득도적류금강석박막적후도시유한적.채용재차혹다차도복적방법가이해결저개문제,단시박막적질량병불이상.채용타성기체파용우사경부남적분갑산내,이갑분내이급용우사경부남적취합물대입반응실,작위탄원물질삼여류금강석박막적합성.결과표명,재열처리과정중통입적탄원물질재불동정도상도유리우류금강석박막중sp2화sp3탄적증가,박막적질량득도제고.
