材料科学与工艺
材料科學與工藝
재료과학여공예
MATERIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
2期
264-268
,共5页
张学骜%吴文健%满亚辉%刘长利
張學驁%吳文健%滿亞輝%劉長利
장학오%오문건%만아휘%류장리
溶胶-凝胶法%ITO薄膜%制备%工艺%应用
溶膠-凝膠法%ITO薄膜%製備%工藝%應用
용효-응효법%ITO박막%제비%공예%응용
概述了近年来国内外溶胶-凝胶法(Sol-Gel)制备ITO薄膜的研究状况,对Sol-Gel法制备ITO薄膜工艺做了简要介绍,重点讨论了Sol-Gel法制备ITO薄膜的溶胶体系,分析比较了有机醇盐、无机盐以及掺入ITO粉末方法体系的优缺点,最后讨论了甩膜法、提拉法及平铺法在Sol-Gel法制备ITO薄膜中镀膜的应用.指出Sol-Gel法是一种高效可行的制备ITO薄膜的方法,有着广阔的应用前景.
概述瞭近年來國內外溶膠-凝膠法(Sol-Gel)製備ITO薄膜的研究狀況,對Sol-Gel法製備ITO薄膜工藝做瞭簡要介紹,重點討論瞭Sol-Gel法製備ITO薄膜的溶膠體繫,分析比較瞭有機醇鹽、無機鹽以及摻入ITO粉末方法體繫的優缺點,最後討論瞭甩膜法、提拉法及平鋪法在Sol-Gel法製備ITO薄膜中鍍膜的應用.指齣Sol-Gel法是一種高效可行的製備ITO薄膜的方法,有著廣闊的應用前景.
개술료근년래국내외용효-응효법(Sol-Gel)제비ITO박막적연구상황,대Sol-Gel법제비ITO박막공예주료간요개소,중점토론료Sol-Gel법제비ITO박막적용효체계,분석비교료유궤순염、무궤염이급참입ITO분말방법체계적우결점,최후토론료솔막법、제랍법급평포법재Sol-Gel법제비ITO박막중도막적응용.지출Sol-Gel법시일충고효가행적제비ITO박막적방법,유착엄활적응용전경.
