人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2008年
2期
500-503
,共4页
刘德生%钟淑英%杜燕兰%胡军平%叶志清%雷敏生
劉德生%鐘淑英%杜燕蘭%鬍軍平%葉誌清%雷敏生
류덕생%종숙영%두연란%호군평%협지청%뢰민생
脉冲激光沉积%LiCoO2薄膜%晶体结构%表面形貌
脈遲激光沉積%LiCoO2薄膜%晶體結構%錶麵形貌
맥충격광침적%LiCoO2박막%정체결구%표면형모
使用脉冲激光沉积(PLD)法,在不同的氧压下制备了锂离子二次电池正极材料LiCoO2的薄膜.利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)等分析测试方法,对沉积的薄膜进行了晶体结构和表面形貌的分析.结果显示,氧压达到正常标准时(加Pa),LiCoO:薄膜具有明显的c轴择优取向,同时薄膜的晶粒尺寸更为均匀,表面更为光滑.而氧压较低(1 Pa)时,薄膜表现为随机取向.这些结果表明,PLD方法制备LiCoO2薄膜时应该充分考虑腔体气压对等离子体的散射作用以提高薄膜表面的质量.
使用脈遲激光沉積(PLD)法,在不同的氧壓下製備瞭鋰離子二次電池正極材料LiCoO2的薄膜.利用X射線衍射(XRD)、原子力顯微鏡(AFM)等分析測試方法,對沉積的薄膜進行瞭晶體結構和錶麵形貌的分析.結果顯示,氧壓達到正常標準時(加Pa),LiCoO:薄膜具有明顯的c軸擇優取嚮,同時薄膜的晶粒呎吋更為均勻,錶麵更為光滑.而氧壓較低(1 Pa)時,薄膜錶現為隨機取嚮.這些結果錶明,PLD方法製備LiCoO2薄膜時應該充分攷慮腔體氣壓對等離子體的散射作用以提高薄膜錶麵的質量.
사용맥충격광침적(PLD)법,재불동적양압하제비료리리자이차전지정겁재료LiCoO2적박막.이용X사선연사(XRD)、원자력현미경(AFM)등분석측시방법,대침적적박막진행료정체결구화표면형모적분석.결과현시,양압체도정상표준시(가Pa),LiCoO:박막구유명현적c축택우취향,동시박막적정립척촌경위균균,표면경위광활.이양압교저(1 Pa)시,박막표현위수궤취향.저사결과표명,PLD방법제비LiCoO2박막시응해충분고필강체기압대등리자체적산사작용이제고박막표면적질량.
