光谱实验室
光譜實驗室
광보실험실
CHINESE JOURNAL OF SPECTROSCOPY LABORATORY
2010年
1期
66-76
,共11页
椭偏术%椭圆偏振仪%模型%薄膜%光学常数
橢偏術%橢圓偏振儀%模型%薄膜%光學常數
타편술%타원편진의%모형%박막%광학상수
Ellipsometry%Ellipsometer%Model%Thin Film%Optical Constants
椭圆偏振的数据处理一直存在很多困难,本文是作者从事椭偏数据分析工作的经验总结.介绍了椭偏数据分析中光谱选择范围的依据,提出了初步判别材料性质的方法.研究了一些常用模型及其应用范围,阐述了针对不同类型样品的数据分析方法,并分析了初始参数对分析结果的影响,为椭圆偏振的数据分析提供了快速易行的方法.
橢圓偏振的數據處理一直存在很多睏難,本文是作者從事橢偏數據分析工作的經驗總結.介紹瞭橢偏數據分析中光譜選擇範圍的依據,提齣瞭初步判彆材料性質的方法.研究瞭一些常用模型及其應用範圍,闡述瞭針對不同類型樣品的數據分析方法,併分析瞭初始參數對分析結果的影響,為橢圓偏振的數據分析提供瞭快速易行的方法.
타원편진적수거처리일직존재흔다곤난,본문시작자종사타편수거분석공작적경험총결.개소료타편수거분석중광보선택범위적의거,제출료초보판별재료성질적방법.연구료일사상용모형급기응용범위,천술료침대불동류형양품적수거분석방법,병분석료초시삼수대분석결과적영향,위타원편진적수거분석제공료쾌속역행적방법.
There are many problems in data analysis for ellipsometry.This paper is a summary on my experience in data analysis for ellipsometry,mostly including the research on frequently adopted model and its application scope,the solutions for various samples,which hopefully provide an approach to data analysis for ellipsometry.
