半导体光电
半導體光電
반도체광전
SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS
2004年
2期
91-93
,共3页
龙飞%张顾万%顾正伟%李仁豪
龍飛%張顧萬%顧正偉%李仁豪
룡비%장고만%고정위%리인호
电荷耦合器件%转移效率%红外读出电路
電荷耦閤器件%轉移效率%紅外讀齣電路
전하우합기건%전이효솔%홍외독출전로
设计和研制了一种采用多晶硅交叠栅结构的1×288红外信号处理器读出电路.制作中采用了多重吸杂技术和大剂量离子注入技术,提高了电路的信号处理能力,降低了信号噪声.该电路具有分割、抗晕、背景撇出功能.其功耗小于等于50 mW,动态范围大于等于60 dB,转移效率大于等于99.99%.详细介绍了这种1×288红外读出电路的理论设计和研制方法,给出了工艺流程及器件的测试方法.
設計和研製瞭一種採用多晶硅交疊柵結構的1×288紅外信號處理器讀齣電路.製作中採用瞭多重吸雜技術和大劑量離子註入技術,提高瞭電路的信號處理能力,降低瞭信號譟聲.該電路具有分割、抗暈、揹景撇齣功能.其功耗小于等于50 mW,動態範圍大于等于60 dB,轉移效率大于等于99.99%.詳細介紹瞭這種1×288紅外讀齣電路的理論設計和研製方法,給齣瞭工藝流程及器件的測試方法.
설계화연제료일충채용다정규교첩책결구적1×288홍외신호처리기독출전로.제작중채용료다중흡잡기술화대제량리자주입기술,제고료전로적신호처리능력,강저료신호조성.해전로구유분할、항훈、배경별출공능.기공모소우등우50 mW,동태범위대우등우60 dB,전이효솔대우등우99.99%.상세개소료저충1×288홍외독출전로적이론설계화연제방법,급출료공예류정급기건적측시방법.
