兵工学报
兵工學報
병공학보
ACTA ARMAMENTARII
2005年
1期
77-81
,共5页
机电一体化技术%PMN-PZT%压电陶瓷%硬盘驱动器%微致动器%双级伺服系统
機電一體化技術%PMN-PZT%壓電陶瓷%硬盤驅動器%微緻動器%雙級伺服繫統
궤전일체화기술%PMN-PZT%압전도자%경반구동기%미치동기%쌍급사복계통
制作一种新型压电陶瓷微致动器,用于高密度硬盘驱动器磁头的精确定位.该致动器采用高d31特性的压电陶瓷材料,采用烧结成型工艺,并使用溅射和反应离子刻蚀工艺制作而成,然后进行了退极化性能等分析.此外,建立了一种有限元简化模型并分析其驱动能力.结果显示,当采用双层结构的压电微致动器时,在外加电压±30 V作用下,悬臂自由端位移和谐振频率分别达到0.93μm和20.425 kHz,表明该致动器满足硬盘驱动器对微致动器位移/电压灵敏度、谐振频率等要求.
製作一種新型壓電陶瓷微緻動器,用于高密度硬盤驅動器磁頭的精確定位.該緻動器採用高d31特性的壓電陶瓷材料,採用燒結成型工藝,併使用濺射和反應離子刻蝕工藝製作而成,然後進行瞭退極化性能等分析.此外,建立瞭一種有限元簡化模型併分析其驅動能力.結果顯示,噹採用雙層結構的壓電微緻動器時,在外加電壓±30 V作用下,懸臂自由耑位移和諧振頻率分彆達到0.93μm和20.425 kHz,錶明該緻動器滿足硬盤驅動器對微緻動器位移/電壓靈敏度、諧振頻率等要求.
제작일충신형압전도자미치동기,용우고밀도경반구동기자두적정학정위.해치동기채용고d31특성적압전도자재료,채용소결성형공예,병사용천사화반응리자각식공예제작이성,연후진행료퇴겁화성능등분석.차외,건립료일충유한원간화모형병분석기구동능력.결과현시,당채용쌍층결구적압전미치동기시,재외가전압±30 V작용하,현비자유단위이화해진빈솔분별체도0.93μm화20.425 kHz,표명해치동기만족경반구동기대미치동기위이/전압령민도、해진빈솔등요구.
