光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2005年
2期
270-273
,共4页
于天燕%朱福荣%刘定权%张凤山
于天燕%硃福榮%劉定權%張鳳山
우천연%주복영%류정권%장봉산
光学薄膜%红外增透膜%硫化锌透镜%氟化钇%应力作用%离子辅助
光學薄膜%紅外增透膜%硫化鋅透鏡%氟化釔%應力作用%離子輔助
광학박막%홍외증투막%류화자투경%불화을%응력작용%리자보조
硫化锌(ZnS)透镜由于其透光区域较宽,便于光学系统的装校而被经常应用于红外光学系统中,但是其作为基底,镀制中长波红外增透膜却具有相当大的难度,尤其是牢固度的问题.根据任务要求研制的增透膜是在3.5～3.9 μm的中波红外波段及9～12 μm的长波红外波段,平均透射率大于90%.由于长波红外区可选用的宽透射区材料较少,所以兼顾材料的选用、光谱特性及可靠性满足使用要求等几方面考虑,最终采用氟化钇(YF3)作为低折射率材料,经过多次实验,采用混蒸、离子辅助等工艺方法以及选取合适的基底温度,通过对其他工艺环节的不断改进,解决了在ZnS透镜上镀制宽带增透膜,由YF3膜层严重的应力作用而导致膜层龟裂的问题,最终研制成功符合使用要求,并且可靠性和光谱特性皆优的中长波红外增透膜.
硫化鋅(ZnS)透鏡由于其透光區域較寬,便于光學繫統的裝校而被經常應用于紅外光學繫統中,但是其作為基底,鍍製中長波紅外增透膜卻具有相噹大的難度,尤其是牢固度的問題.根據任務要求研製的增透膜是在3.5～3.9 μm的中波紅外波段及9～12 μm的長波紅外波段,平均透射率大于90%.由于長波紅外區可選用的寬透射區材料較少,所以兼顧材料的選用、光譜特性及可靠性滿足使用要求等幾方麵攷慮,最終採用氟化釔(YF3)作為低摺射率材料,經過多次實驗,採用混蒸、離子輔助等工藝方法以及選取閤適的基底溫度,通過對其他工藝環節的不斷改進,解決瞭在ZnS透鏡上鍍製寬帶增透膜,由YF3膜層嚴重的應力作用而導緻膜層龜裂的問題,最終研製成功符閤使用要求,併且可靠性和光譜特性皆優的中長波紅外增透膜.
류화자(ZnS)투경유우기투광구역교관,편우광학계통적장교이피경상응용우홍외광학계통중,단시기작위기저,도제중장파홍외증투막각구유상당대적난도,우기시뢰고도적문제.근거임무요구연제적증투막시재3.5～3.9 μm적중파홍외파단급9～12 μm적장파홍외파단,평균투사솔대우90%.유우장파홍외구가선용적관투사구재료교소,소이겸고재료적선용、광보특성급가고성만족사용요구등궤방면고필,최종채용불화을(YF3)작위저절사솔재료,경과다차실험,채용혼증、리자보조등공예방법이급선취합괄적기저온도,통과대기타공예배절적불단개진,해결료재ZnS투경상도제관대증투막,유YF3막층엄중적응력작용이도치막층구렬적문제,최종연제성공부합사용요구,병차가고성화광보특성개우적중장파홍외증투막.
