红外技术
紅外技術
홍외기술
INFRARED TECHNOLOGY
2009年
2期
84-86,94
,共4页
史琪%王向前%汤金春%铁筱滢
史琪%王嚮前%湯金春%鐵篠瀅
사기%왕향전%탕금춘%철소형
功函数%Cr/Au电极%In/Au+Cr/Au电极%Ti/Au电极
功函數%Cr/Au電極%In/Au+Cr/Au電極%Ti/Au電極
공함수%Cr/Au전겁%In/Au+Cr/Au전겁%Ti/Au전겁
针对短波CMT红外光导探测器出现的拖尾问题,找到其拖尾的原因:过渡电极的功函数过大.为此,在原来Cr/Au电极的基础上,提出了In/Au+Cr/Au电极初步解决了拖尾问题,但是在工艺上出现了In聚球现象,影响器件的稳定性.又提出Ti/Au电极,比较好的解决了拖尾问题和In/Au+Cr/Au电极带来的工艺问题.
針對短波CMT紅外光導探測器齣現的拖尾問題,找到其拖尾的原因:過渡電極的功函數過大.為此,在原來Cr/Au電極的基礎上,提齣瞭In/Au+Cr/Au電極初步解決瞭拖尾問題,但是在工藝上齣現瞭In聚毬現象,影響器件的穩定性.又提齣Ti/Au電極,比較好的解決瞭拖尾問題和In/Au+Cr/Au電極帶來的工藝問題.
침대단파CMT홍외광도탐측기출현적타미문제,조도기타미적원인:과도전겁적공함수과대.위차,재원래Cr/Au전겁적기출상,제출료In/Au+Cr/Au전겁초보해결료타미문제,단시재공예상출현료In취구현상,영향기건적은정성.우제출Ti/Au전겁,비교호적해결료타미문제화In/Au+Cr/Au전겁대래적공예문제.
