压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2009年
2期
149-151
,共3页
倪鹤南%侯安州%李敏%徐爱兰%惠春
倪鶴南%侯安州%李敏%徐愛蘭%惠春
예학남%후안주%리민%서애란%혜춘
溶胶-凝胶(Sol-Gel)%薄膜体声波谐振器%纳米晶PZT薄膜
溶膠-凝膠(Sol-Gel)%薄膜體聲波諧振器%納米晶PZT薄膜
용효-응효(Sol-Gel)%박막체성파해진기%납미정PZT박막
采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法,在Si基Pt电极上沉积了PZT压电薄膜,并研制了以SiO2为声反射层的体声波谐振器.用X-射线衍射、电镜扫描及原子力显微镜测试表明,PZT薄膜具有(110)择优取向,良好的短柱状自行晶结构及平滑的表面,晶粒平均尺寸为50～60 nm.介电性能测试结果表明,介电常数保持约800,损耗角为0.02.用网络分析仪测试体声波谐振器得到较好的频率特性,即串、并联谐振频率分别为2.91 GHz和3.01 GHz,机电耦合系数为8.18%.在敏感元电极上加载1 μL浓度为0.2 μg/μL的磁性微球溶液,谐振频率降低了0.09 GHz.
採用改進的溶膠-凝膠(Sol-Gel)法,在Si基Pt電極上沉積瞭PZT壓電薄膜,併研製瞭以SiO2為聲反射層的體聲波諧振器.用X-射線衍射、電鏡掃描及原子力顯微鏡測試錶明,PZT薄膜具有(110)擇優取嚮,良好的短柱狀自行晶結構及平滑的錶麵,晶粒平均呎吋為50～60 nm.介電性能測試結果錶明,介電常數保持約800,損耗角為0.02.用網絡分析儀測試體聲波諧振器得到較好的頻率特性,即串、併聯諧振頻率分彆為2.91 GHz和3.01 GHz,機電耦閤繫數為8.18%.在敏感元電極上加載1 μL濃度為0.2 μg/μL的磁性微毬溶液,諧振頻率降低瞭0.09 GHz.
채용개진적용효-응효(Sol-Gel)법,재Si기Pt전겁상침적료PZT압전박막,병연제료이SiO2위성반사층적체성파해진기.용X-사선연사、전경소묘급원자력현미경측시표명,PZT박막구유(110)택우취향,량호적단주상자행정결구급평활적표면,정립평균척촌위50～60 nm.개전성능측시결과표명,개전상수보지약800,손모각위0.02.용망락분석의측시체성파해진기득도교호적빈솔특성,즉천、병련해진빈솔분별위2.91 GHz화3.01 GHz,궤전우합계수위8.18%.재민감원전겁상가재1 μL농도위0.2 μg/μL적자성미구용액,해진빈솔강저료0.09 GHz.
