新乡学院学报（自然科学版）
新鄉學院學報（自然科學版）
신향학원학보（자연과학판）
JOURNAL OF XINXIANG UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2009年
4期
32-35
,共4页
倪静%郝希平%李立本%李小红%吴卫东
倪靜%郝希平%李立本%李小紅%吳衛東
예정%학희평%리립본%리소홍%오위동
非晶碳氮薄膜%X射线光电子能谱%氮含量
非晶碳氮薄膜%X射線光電子能譜%氮含量
비정탄담박막%X사선광전자능보%담함량
采用空心阴极等离子体化学气相沉积法,在甲烷-氨气、氢气混合气体体系下,制备出了非晶碳氮薄膜.利用原予力显微镜(AFM)及X射线光电子能谱(XPS)对薄膜的表面形貌、成分及微观结构进行了测试和表征.结果表明,薄膜的表面光滑、致密,均方根粗糙度小于0.5 nm;薄膜中的氮含量随NH3(H2)流速的增加呈现降低的趋势,sp2C-N及sp3C-N键含量均随氮含量的增加而增加.
採用空心陰極等離子體化學氣相沉積法,在甲烷-氨氣、氫氣混閤氣體體繫下,製備齣瞭非晶碳氮薄膜.利用原予力顯微鏡(AFM)及X射線光電子能譜(XPS)對薄膜的錶麵形貌、成分及微觀結構進行瞭測試和錶徵.結果錶明,薄膜的錶麵光滑、緻密,均方根粗糙度小于0.5 nm;薄膜中的氮含量隨NH3(H2)流速的增加呈現降低的趨勢,sp2C-N及sp3C-N鍵含量均隨氮含量的增加而增加.
채용공심음겁등리자체화학기상침적법,재갑완-안기、경기혼합기체체계하,제비출료비정탄담박막.이용원여력현미경(AFM)급X사선광전자능보(XPS)대박막적표면형모、성분급미관결구진행료측시화표정.결과표명,박막적표면광활、치밀,균방근조조도소우0.5 nm;박막중적담함량수NH3(H2)류속적증가정현강저적추세,sp2C-N급sp3C-N건함량균수담함량적증가이증가.
