微电子学与计算机
微電子學與計算機
미전자학여계산궤
MICROELECTRONICS & COMPUTER
2003年
3期
68-72
,共5页
MEMS%微加速度传感器%设计仿真
MEMS%微加速度傳感器%設計倣真
MEMS%미가속도전감기%설계방진
文章利用ANSYS软件对悬臂梁式硅微加速度传感器敏感芯片进行了设计仿真,给出了一种能满足:量程50g,精度10-3要求的硅微加速度传感器的结构,并对加工时可能引入的工艺误差所带来的影响进行了讨论.
文章利用ANSYS軟件對懸臂樑式硅微加速度傳感器敏感芯片進行瞭設計倣真,給齣瞭一種能滿足:量程50g,精度10-3要求的硅微加速度傳感器的結構,併對加工時可能引入的工藝誤差所帶來的影響進行瞭討論.
문장이용ANSYS연건대현비량식규미가속도전감기민감심편진행료설계방진,급출료일충능만족:량정50g,정도10-3요구적규미가속도전감기적결구,병대가공시가능인입적공예오차소대래적영향진행료토론.
