半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2006年
10期
778-781
,共4页
李辉%孙以材%潘国锋%邱美艳
李輝%孫以材%潘國鋒%邱美豔
리휘%손이재%반국봉%구미염
氮化铝薄膜%高温压力传感器%直流磁控反应溅射
氮化鋁薄膜%高溫壓力傳感器%直流磁控反應濺射
담화려박막%고온압력전감기%직류자공반응천사
采用直流磁控反应溅射法制备了高温压力传感器用的AlN薄膜.用X射线衍射对薄膜的晶向结构进行了分析,研究了薄膜的绝缘特性和化学稳定性,分析了AlN与Si的热膨胀系数、热导系数的关系.选用AlN在力敏电阻条和硅弹性膜之间进行绝缘隔离,由于无p-n结,力敏电阻无反向漏电,得到了极好的压力传感器特性,即零点电漂移及热漂移小及非线性小.
採用直流磁控反應濺射法製備瞭高溫壓力傳感器用的AlN薄膜.用X射線衍射對薄膜的晶嚮結構進行瞭分析,研究瞭薄膜的絕緣特性和化學穩定性,分析瞭AlN與Si的熱膨脹繫數、熱導繫數的關繫.選用AlN在力敏電阻條和硅彈性膜之間進行絕緣隔離,由于無p-n結,力敏電阻無反嚮漏電,得到瞭極好的壓力傳感器特性,即零點電漂移及熱漂移小及非線性小.
채용직류자공반응천사법제비료고온압력전감기용적AlN박막.용X사선연사대박막적정향결구진행료분석,연구료박막적절연특성화화학은정성,분석료AlN여Si적열팽창계수、열도계수적관계.선용AlN재력민전조조화규탄성막지간진행절연격리,유우무p-n결,력민전조무반향루전,득도료겁호적압력전감기특성,즉영점전표이급열표이소급비선성소.
