真空
真空
진공
VACUUM
2008年
1期
41-44
,共4页
低温多晶硅薄膜%金属诱导横向晶化%准分子激光晶化%电感耦合等离子体化学气相沉积
低溫多晶硅薄膜%金屬誘導橫嚮晶化%準分子激光晶化%電感耦閤等離子體化學氣相沉積
저온다정규박막%금속유도횡향정화%준분자격광정화%전감우합등리자체화학기상침적
低温多晶硅薄膜是制备高性能薄膜晶体管的首选材料,由其制成的薄膜晶体管由于在平板显示器件驱动中所展现的优越性能而受到广泛关注.本文系统介绍了低温多晶硅薄膜的三种制备方法一金属诱导横向晶化法、准分子激光晶化法和电感耦合等离子体化学气相沉积法的原理和研究进展,比较了它们之间各自的优缺点,最后对该领域的发展前景进行了展望.
低溫多晶硅薄膜是製備高性能薄膜晶體管的首選材料,由其製成的薄膜晶體管由于在平闆顯示器件驅動中所展現的優越性能而受到廣汎關註.本文繫統介紹瞭低溫多晶硅薄膜的三種製備方法一金屬誘導橫嚮晶化法、準分子激光晶化法和電感耦閤等離子體化學氣相沉積法的原理和研究進展,比較瞭它們之間各自的優缺點,最後對該領域的髮展前景進行瞭展望.
저온다정규박막시제비고성능박막정체관적수선재료,유기제성적박막정체관유우재평판현시기건구동중소전현적우월성능이수도엄범관주.본문계통개소료저온다정규박막적삼충제비방법일금속유도횡향정화법、준분자격광정화법화전감우합등리자체화학기상침적법적원리화연구진전,비교료타문지간각자적우결점,최후대해영역적발전전경진행료전망.
