机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2008年
3期
195-199
,共5页
黄强先%権太聪%三隅伊知子%黑澤富藏
黃彊先%権太聰%三隅伊知子%黑澤富藏
황강선%권태총%삼우이지자%흑택부장
长度溯源%激光干涉仪%动态模式原子力显微镜%纳米计量
長度溯源%激光榦涉儀%動態模式原子力顯微鏡%納米計量
장도소원%격광간섭의%동태모식원자력현미경%납미계량
通过与长度溯源三轴激光干涉仪测量系统结合,设计开发计量型动态模式原子力显微镜(AFM).此AFM系统中,三轴激光干涉仪系统用于实时测量AFM测头与试样的相对位移.激光干涉仪系统的x,y,z测量轴正交于AFM探针顶端附近的一点,基本可以避免系统的阿贝误差,使AFM具有极高的测量精度.除此之外,扫描过程中三轴激光干涉仪系统还用于工作台x,y方向位移的反馈控制,完全克服AFM中压电器件的缺陷对水平尺寸测量的影响.分析表明,在对纳米标准栅的平均栅距测量中,AFM系统达到亚纳米的测量精度.
通過與長度溯源三軸激光榦涉儀測量繫統結閤,設計開髮計量型動態模式原子力顯微鏡(AFM).此AFM繫統中,三軸激光榦涉儀繫統用于實時測量AFM測頭與試樣的相對位移.激光榦涉儀繫統的x,y,z測量軸正交于AFM探針頂耑附近的一點,基本可以避免繫統的阿貝誤差,使AFM具有極高的測量精度.除此之外,掃描過程中三軸激光榦涉儀繫統還用于工作檯x,y方嚮位移的反饋控製,完全剋服AFM中壓電器件的缺陷對水平呎吋測量的影響.分析錶明,在對納米標準柵的平均柵距測量中,AFM繫統達到亞納米的測量精度.
통과여장도소원삼축격광간섭의측량계통결합,설계개발계량형동태모식원자력현미경(AFM).차AFM계통중,삼축격광간섭의계통용우실시측량AFM측두여시양적상대위이.격광간섭의계통적x,y,z측량축정교우AFM탐침정단부근적일점,기본가이피면계통적아패오차,사AFM구유겁고적측량정도.제차지외,소묘과정중삼축격광간섭의계통환용우공작태x,y방향위이적반궤공제,완전극복AFM중압전기건적결함대수평척촌측량적영향.분석표명,재대납미표준책적평균책거측량중,AFM계통체도아납미적측량정도.
