传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2009年
4期
50-53
,共4页
激光干涉%耦合差动%误差分析%纳米精度
激光榦涉%耦閤差動%誤差分析%納米精度
격광간섭%우합차동%오차분석%납미정도
提出了一种光学8倍频的耦合差动式干涉光路,其结构设计简洁紧凑,光路布局对称性好,光程差倍增,符合阿贝原则和结构变形最小原则.对系统精度在理论分析的基础上进行了估算,得出了在10mm范围内干涉仪综合精度的理论值约为±1.8mm.采用与电容测微仪比对的方法对该系统进行检测,利用线性回归的方法对测量结果进行处理.试验结果表明:该干涉测量系统的精度约为14mm.
提齣瞭一種光學8倍頻的耦閤差動式榦涉光路,其結構設計簡潔緊湊,光路佈跼對稱性好,光程差倍增,符閤阿貝原則和結構變形最小原則.對繫統精度在理論分析的基礎上進行瞭估算,得齣瞭在10mm範圍內榦涉儀綜閤精度的理論值約為±1.8mm.採用與電容測微儀比對的方法對該繫統進行檢測,利用線性迴歸的方法對測量結果進行處理.試驗結果錶明:該榦涉測量繫統的精度約為14mm.
제출료일충광학8배빈적우합차동식간섭광로,기결구설계간길긴주,광로포국대칭성호,광정차배증,부합아패원칙화결구변형최소원칙.대계통정도재이론분석적기출상진행료고산,득출료재10mm범위내간섭의종합정도적이론치약위±1.8mm.채용여전용측미의비대적방법대해계통진행검측,이용선성회귀적방법대측량결과진행처리.시험결과표명:해간섭측량계통적정도약위14mm.
