淮南师范学院学报
淮南師範學院學報
회남사범학원학보
JOURNAL OF HUAINAN TEACHERS COLLEGE
2009年
3期
11-14
,共4页
温湿度%PID%模糊控制
溫濕度%PID%模糊控製
온습도%PID%모호공제
对半导体洁净室温湿度控制流程进行介绍,并分析洁净室的温湿度控制方法.在PID控制的基础上,引入模糊控制达到提高控制的效果.
對半導體潔淨室溫濕度控製流程進行介紹,併分析潔淨室的溫濕度控製方法.在PID控製的基礎上,引入模糊控製達到提高控製的效果.
대반도체길정실온습도공제류정진행개소,병분석길정실적온습도공제방법.재PID공제적기출상,인입모호공제체도제고공제적효과.
