纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2010年
3期
201-205
,共5页
陈涛%孙立宁%陈立国%荣伟彬%李昕欣%王家畴
陳濤%孫立寧%陳立國%榮偉彬%李昕訢%王傢疇
진도%손립저%진입국%영위빈%리흔흔%왕가주
微机电系统%侧壁压阻%力传感器
微機電繫統%側壁壓阻%力傳感器
미궤전계통%측벽압조%력전감기
在对现有微操作中夹持力问题进行分析的基础上,提出了一种基于面内侧壁压阻的力传感器加工方法,成功地在MEMS微夹持器上集成了压阻式的力检测传感器,对夹持力的检测反馈实现了微操作的闭环控制.该方法利用离子注入工艺和深度反应离子刻蚀(DRIE)工艺相结合制作检测梁侧壁压阻,改善了侧壁压阻工艺与其他工艺间的兼容性问题.最后通过压电叠堆驱动平台结合精密电子秤对压阻传感器进行了标定.测试表明,这种微力传感器加工技术可以很好地与其他工艺相兼容,力传感器的灵敏度优于72 V/N,分辨率优于3 μN.
在對現有微操作中夾持力問題進行分析的基礎上,提齣瞭一種基于麵內側壁壓阻的力傳感器加工方法,成功地在MEMS微夾持器上集成瞭壓阻式的力檢測傳感器,對夾持力的檢測反饋實現瞭微操作的閉環控製.該方法利用離子註入工藝和深度反應離子刻蝕(DRIE)工藝相結閤製作檢測樑側壁壓阻,改善瞭側壁壓阻工藝與其他工藝間的兼容性問題.最後通過壓電疊堆驅動平檯結閤精密電子秤對壓阻傳感器進行瞭標定.測試錶明,這種微力傳感器加工技術可以很好地與其他工藝相兼容,力傳感器的靈敏度優于72 V/N,分辨率優于3 μN.
재대현유미조작중협지력문제진행분석적기출상,제출료일충기우면내측벽압조적력전감기가공방법,성공지재MEMS미협지기상집성료압조식적력검측전감기,대협지력적검측반궤실현료미조작적폐배공제.해방법이용리자주입공예화심도반응리자각식(DRIE)공예상결합제작검측량측벽압조,개선료측벽압조공예여기타공예간적겸용성문제.최후통과압전첩퇴구동평태결합정밀전자칭대압조전감기진행료표정.측시표명,저충미력전감기가공기술가이흔호지여기타공예상겸용,력전감기적령민도우우72 V/N,분변솔우우3 μN.
