真空
真空
진공
VACUUM
2011年
2期
19-21
,共3页
唐刚%刘景全%杨春生%柳和生%李以贵
唐剛%劉景全%楊春生%柳和生%李以貴
당강%류경전%양춘생%류화생%리이귀
压电能量采集器%真空键合%PZT(锆钛酸铅)厚膜%湿法化学刻蚀%振动
壓電能量採集器%真空鍵閤%PZT(鋯鈦痠鉛)厚膜%濕法化學刻蝕%振動
압전능량채집기%진공건합%PZT(고태산연)후막%습법화학각식%진동
采用环氧树脂作为中间层的真空键合技术实现体材PZT与硅片键合,再利用机械化学抛光方法将PZT减薄到适当的厚度制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2Si/SiO2/Epoxy/Ag/PZT/Cr/Cu形式的压电能量采集器悬臂梁结构.基于半导体光刻技术,通过湿法化学刻蚀和切片两种方法实现了PZT厚膜图形化问题,为基于体材PZT厚膜的高性能压电能量采集器的研制打下了良好的基础.
採用環氧樹脂作為中間層的真空鍵閤技術實現體材PZT與硅片鍵閤,再利用機械化學拋光方法將PZT減薄到適噹的厚度製備瞭PZT鐵電厚膜,構成瞭SiO2Si/SiO2/Epoxy/Ag/PZT/Cr/Cu形式的壓電能量採集器懸臂樑結構.基于半導體光刻技術,通過濕法化學刻蝕和切片兩種方法實現瞭PZT厚膜圖形化問題,為基于體材PZT厚膜的高性能壓電能量採集器的研製打下瞭良好的基礎.
채용배양수지작위중간층적진공건합기술실현체재PZT여규편건합,재이용궤계화학포광방법장PZT감박도괄당적후도제비료PZT철전후막,구성료SiO2Si/SiO2/Epoxy/Ag/PZT/Cr/Cu형식적압전능량채집기현비량결구.기우반도체광각기술,통과습법화학각식화절편량충방법실현료PZT후막도형화문제,위기우체재PZT후막적고성능압전능량채집기적연제타하료량호적기출.
