华南理工大学学报（自然科学版）
華南理工大學學報（自然科學版）
화남리공대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SOUTH CHINA UNIVERSITY OF TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2011年
11期
120-124
,共5页
陆裕东%万明%恩云飞%王歆%成俊%何小琦
陸裕東%萬明%恩雲飛%王歆%成俊%何小琦
륙유동%만명%은운비%왕흠%성준%하소기
SnAgCu%凸点%互连结构%机械强度%断裂模式%金属间化合物%电迁移
SnAgCu%凸點%互連結構%機械彊度%斷裂模式%金屬間化閤物%電遷移
SnAgCu%철점%호련결구%궤계강도%단렬모식%금속간화합물%전천이
连结构的剪切失效位置和失效模式,分析了两种不同应力条件下互连结构失效形貌间的差异,研究并确定了高电流应力导致的电迁移对Al/SnAgCu/Cu互连结构剪切强度及断裂模式的影响.结果表明:高温老化实验后,倒装凸点互连结构中出现Al金属/焊料界面的脆性开裂和凸点焊料的延展性断裂两种剪切断裂模式；高温高电流应力条件下老化后,倒装凸点互连结构的剪切失效位置和断面形貌发生变化,电迁移作用导致的层状空洞和金属间化合物的异常生长成为影响倒装凸点互连结构剪切强度及失效模式的主要因素；同时,由于倒装凸点串联回路中电流方向的交替性变化,倒装凸点互连结构在加电实验中出现的两种断裂模式在回路中呈交替分布的特殊失效现象.
連結構的剪切失效位置和失效模式,分析瞭兩種不同應力條件下互連結構失效形貌間的差異,研究併確定瞭高電流應力導緻的電遷移對Al/SnAgCu/Cu互連結構剪切彊度及斷裂模式的影響.結果錶明:高溫老化實驗後,倒裝凸點互連結構中齣現Al金屬/銲料界麵的脆性開裂和凸點銲料的延展性斷裂兩種剪切斷裂模式；高溫高電流應力條件下老化後,倒裝凸點互連結構的剪切失效位置和斷麵形貌髮生變化,電遷移作用導緻的層狀空洞和金屬間化閤物的異常生長成為影響倒裝凸點互連結構剪切彊度及失效模式的主要因素；同時,由于倒裝凸點串聯迴路中電流方嚮的交替性變化,倒裝凸點互連結構在加電實驗中齣現的兩種斷裂模式在迴路中呈交替分佈的特殊失效現象.
련결구적전절실효위치화실효모식,분석료량충불동응력조건하호련결구실효형모간적차이,연구병학정료고전류응력도치적전천이대Al/SnAgCu/Cu호련결구전절강도급단렬모식적영향.결과표명:고온노화실험후,도장철점호련결구중출현Al금속/한료계면적취성개렬화철점한료적연전성단렬량충전절단렬모식；고온고전류응력조건하노화후,도장철점호련결구적전절실효위치화단면형모발생변화,전천이작용도치적층상공동화금속간화합물적이상생장성위영향도장철점호련결구전절강도급실효모식적주요인소；동시,유우도장철점천련회로중전류방향적교체성변화,도장철점호련결구재가전실험중출현적량충단렬모식재회로중정교체분포적특수실효현상.
