功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2004年
3期
294-298
,共5页
王根水%石富文%孙璟兰%孟祥建%戴宁%褚君浩
王根水%石富文%孫璟蘭%孟祥建%戴寧%褚君浩
왕근수%석부문%손경란%맹상건%대저%저군호
LaNiO3%PbZr0.4Ti0.6O3%铁电薄膜%剩余极化%介电特性
LaNiO3%PbZr0.4Ti0.6O3%鐵電薄膜%剩餘極化%介電特性
LaNiO3%PbZr0.4Ti0.6O3%철전박막%잉여겁화%개전특성
采用化学溶液法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了PbZr0.4Ti0.6O3/LaNiO3(PZT/LNO)多层薄膜.X射线衍射测量表明LNO缓冲层的引入使PZT薄膜(111)择优取向度减小,(100)取向增加.原子力显微镜测量表明引入LNO缓冲层使得PZT薄膜表面更加平整、致密.在LNO缓冲层上制备的PZT薄膜具有优良的铁电特性和介电特性:LNO缓冲层厚度为40nm时,500 kV/cm的外加电场下,剩余极化(Pr)为37.6μC/cm2,矫顽电场(Ec)为65 kV/cm;100 kHz时,介电常数达到822,并且发现LNO缓冲层的厚度为40nm,PZT的铁电、介电特性改进最为显著.
採用化學溶液法在Pt/Ti/SiO2/Si襯底上製備瞭PbZr0.4Ti0.6O3/LaNiO3(PZT/LNO)多層薄膜.X射線衍射測量錶明LNO緩遲層的引入使PZT薄膜(111)擇優取嚮度減小,(100)取嚮增加.原子力顯微鏡測量錶明引入LNO緩遲層使得PZT薄膜錶麵更加平整、緻密.在LNO緩遲層上製備的PZT薄膜具有優良的鐵電特性和介電特性:LNO緩遲層厚度為40nm時,500 kV/cm的外加電場下,剩餘極化(Pr)為37.6μC/cm2,矯頑電場(Ec)為65 kV/cm;100 kHz時,介電常數達到822,併且髮現LNO緩遲層的厚度為40nm,PZT的鐵電、介電特性改進最為顯著.
채용화학용액법재Pt/Ti/SiO2/Si츤저상제비료PbZr0.4Ti0.6O3/LaNiO3(PZT/LNO)다층박막.X사선연사측량표명LNO완충층적인입사PZT박막(111)택우취향도감소,(100)취향증가.원자력현미경측량표명인입LNO완충층사득PZT박막표면경가평정、치밀.재LNO완충층상제비적PZT박막구유우량적철전특성화개전특성:LNO완충층후도위40nm시,500 kV/cm적외가전장하,잉여겁화(Pr)위37.6μC/cm2,교완전장(Ec)위65 kV/cm;100 kHz시,개전상수체도822,병차발현LNO완충층적후도위40nm,PZT적철전、개전특성개진최위현저.
