北京科技大学学报
北京科技大學學報
북경과기대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY BEIJING
2005年
4期
458-461
,共4页
张辉%滕蛟%马纪东%于广华%胡强
張輝%滕蛟%馬紀東%于廣華%鬍彊
장휘%등교%마기동%우엄화%호강
Ta种子层%溅射速率%各相异性磁电阻%矫顽力%(111)织构
Ta種子層%濺射速率%各相異性磁電阻%矯頑力%(111)織構
Ta충자층%천사속솔%각상이성자전조%교완력%(111)직구
研究了Ta种子层的厚度、溅射速率对Ta/Ni65Co35双层膜各向异性磁电阻值(△p/p)、矫顽力和织构的影响.研究表明,适当的Ta层厚度和较高的Ta层溅射速率对提高Ta/Ni65Co35双层膜的△p/p是有效的.Ta种子层的使用增大了Ta/Ni65Co35双层膜的矫顽力而其溅射速率对Ta/Ni65Co35双层膜矫顽力的影响很小.
研究瞭Ta種子層的厚度、濺射速率對Ta/Ni65Co35雙層膜各嚮異性磁電阻值(△p/p)、矯頑力和織構的影響.研究錶明,適噹的Ta層厚度和較高的Ta層濺射速率對提高Ta/Ni65Co35雙層膜的△p/p是有效的.Ta種子層的使用增大瞭Ta/Ni65Co35雙層膜的矯頑力而其濺射速率對Ta/Ni65Co35雙層膜矯頑力的影響很小.
연구료Ta충자층적후도、천사속솔대Ta/Ni65Co35쌍층막각향이성자전조치(△p/p)、교완력화직구적영향.연구표명,괄당적Ta층후도화교고적Ta층천사속솔대제고Ta/Ni65Co35쌍층막적△p/p시유효적.Ta충자층적사용증대료Ta/Ni65Co35쌍층막적교완력이기천사속솔대Ta/Ni65Co35쌍층막교완력적영향흔소.
