发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2005年
4期
526-530
,共5页
刘磁辉%段理%林碧霞%刘秉策%雷欢%蔡俊江%傅竹西
劉磁輝%段理%林碧霞%劉秉策%雷歡%蔡俊江%傅竹西
류자휘%단리%림벽하%류병책%뢰환%채준강%부죽서
氧化锌异质结%C-V特性%I-V特性%界面态
氧化鋅異質結%C-V特性%I-V特性%界麵態
양화자이질결%C-V특성%I-V특성%계면태
利用射频磁控溅射制备了ZnO:Al/p-Si接触,并对其进行C-V和I-V特性的77～350 K变温测量.并对未热退火和800℃热退火两种样品的测量结果进行了对比分析.结果发现,未经热退火和经过热退火处理的样品在C-V和I-V特性上有很大差别.解释了两种样品的C-V和I-V测量结果的不同.对于未退火的样品,由于界面处的大量界面态的屏蔽作用,使得ZnO:Al/p-Si异质结的C-V曲线发生畸变.经800℃热退火,ZnO:Al/p-Si异质结的C-V特性恢复正常,说明热退火已经消除了异质结中的界面态和缺陷态.研究表明ZnO:Al/p-Si异质结经适当热退火处理有更好的整流特性同时对光致发光也更有利.
利用射頻磁控濺射製備瞭ZnO:Al/p-Si接觸,併對其進行C-V和I-V特性的77～350 K變溫測量.併對未熱退火和800℃熱退火兩種樣品的測量結果進行瞭對比分析.結果髮現,未經熱退火和經過熱退火處理的樣品在C-V和I-V特性上有很大差彆.解釋瞭兩種樣品的C-V和I-V測量結果的不同.對于未退火的樣品,由于界麵處的大量界麵態的屏蔽作用,使得ZnO:Al/p-Si異質結的C-V麯線髮生畸變.經800℃熱退火,ZnO:Al/p-Si異質結的C-V特性恢複正常,說明熱退火已經消除瞭異質結中的界麵態和缺陷態.研究錶明ZnO:Al/p-Si異質結經適噹熱退火處理有更好的整流特性同時對光緻髮光也更有利.
이용사빈자공천사제비료ZnO:Al/p-Si접촉,병대기진행C-V화I-V특성적77～350 K변온측량.병대미열퇴화화800℃열퇴화량충양품적측량결과진행료대비분석.결과발현,미경열퇴화화경과열퇴화처리적양품재C-V화I-V특성상유흔대차별.해석료량충양품적C-V화I-V측량결과적불동.대우미퇴화적양품,유우계면처적대량계면태적병폐작용,사득ZnO:Al/p-Si이질결적C-V곡선발생기변.경800℃열퇴화,ZnO:Al/p-Si이질결적C-V특성회복정상,설명열퇴화이경소제료이질결중적계면태화결함태.연구표명ZnO:Al/p-Si이질결경괄당열퇴화처리유경호적정류특성동시대광치발광야경유리.
