金属管件内壁栅极增强等离子体源离子注入的轴向特性研究
금속관건내벽책겁증강등리자체원리자주입적축향특성연구
Axial property of the inner surface of a metal tube processed by GEPSII
  • 万方数据
    物理学报 물이학보

    2007年 3期 1461-1466 ,共6页

    张谷令%王久丽%陈光良%冯文然%顾伟超%牛二武%范松华%刘赤子%杨思泽

    장곡령%왕구려%진광량%풍문연%고위초%우이무%범송화%류적자%양사택

    等离子体源离子注入%内表面%氮化钛 等離子體源離子註入%內錶麵%氮化鈦
    등리자체원리자주입%내표면%담화태
    栅极增强等离子体源离子注入(GEPSⅡ)一种新的金属管本内壁处理方法,该方法能够均匀地对金属管件内壁进行离子注入,并且能够生成二元金属化合物.在金属管件内轴向放置三块45号钢样品,利用GEPSⅡ方法在金属管件内壁成功生长金黄色氮化钛(TiN)薄膜.结构分析显示TiN主要沿(111)和(200)晶面生长,深度分析显示膜的厚度大约二十几纳米,膜质地均匀且在基底有一定的嵌入深度.电化学腐蚀、硬度、磨擦学分析表明TiN薄膜很好地改善了45号钢的表面性能,并且表现出很高的轴向均匀性.
    책겁증강등리자체원리자주입(GEPSⅡ)일충신적금속관본내벽처리방법,해방법능구균균지대금속관건내벽진행리자주입,병차능구생성이원금속화합물.재금속관건내축향방치삼괴45호강양품,이용GEPSⅡ방법재금속관건내벽성공생장금황색담화태(TiN)박막.결구분석현시TiN주요연(111)화(200)정면생장,심도분석현시막적후도대약이십궤납미,막질지균균차재기저유일정적감입심도.전화학부식、경도、마찰학분석표명TiN박막흔호지개선료45호강적표면성능,병차표현출흔고적축향균균성.
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