实验力学
實驗力學
실험역학
JOURNAL OF EXPERIMENTAL MECHANICS
2008年
3期
255-262
,共8页
AFM%压入实验%名义压入深度%四象限接收器%非线性效应
AFM%壓入實驗%名義壓入深度%四象限接收器%非線性效應
AFM%압입실험%명의압입심도%사상한접수기%비선성효응
根据AFM(Atomic-Force Microscope 原子力显微镜)实验得到的典型压入曲线给出了一种标定电压-挠度转化系数的方法.对压入曲线进行常规的数据处理,结果显示在起始段和末段各有5nm左右的名义压入深度.然而,有限元计算结果表明上述名义压入深度并非真正的针尖压入样品的深度.通过悬臂梁响应、光线传播、四象限接收器等几个方面的非线性效应分析,得到了实验中各部分非线性效应对实验结果的影响方式和误差范围,从而发现压入实验中四象限接收器上光斑相对移动引起的非线性效应是造成错误判读压入深度的重要原因.最后,对如何减小测量误差和如何在一定误差范围内得到可靠的实验结果给出了一些建议.
根據AFM(Atomic-Force Microscope 原子力顯微鏡)實驗得到的典型壓入麯線給齣瞭一種標定電壓-撓度轉化繫數的方法.對壓入麯線進行常規的數據處理,結果顯示在起始段和末段各有5nm左右的名義壓入深度.然而,有限元計算結果錶明上述名義壓入深度併非真正的針尖壓入樣品的深度.通過懸臂樑響應、光線傳播、四象限接收器等幾箇方麵的非線性效應分析,得到瞭實驗中各部分非線性效應對實驗結果的影響方式和誤差範圍,從而髮現壓入實驗中四象限接收器上光斑相對移動引起的非線性效應是造成錯誤判讀壓入深度的重要原因.最後,對如何減小測量誤差和如何在一定誤差範圍內得到可靠的實驗結果給齣瞭一些建議.
근거AFM(Atomic-Force Microscope 원자력현미경)실험득도적전형압입곡선급출료일충표정전압-뇨도전화계수적방법.대압입곡선진행상규적수거처리,결과현시재기시단화말단각유5nm좌우적명의압입심도.연이,유한원계산결과표명상술명의압입심도병비진정적침첨압입양품적심도.통과현비량향응、광선전파、사상한접수기등궤개방면적비선성효응분석,득도료실험중각부분비선성효응대실험결과적영향방식화오차범위,종이발현압입실험중사상한접수기상광반상대이동인기적비선성효응시조성착오판독압입심도적중요원인.최후,대여하감소측량오차화여하재일정오차범위내득도가고적실험결과급출료일사건의.
