太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2008年
11期
1348-1352
,共5页
黄岳文%季凯春%李华维%孙励斌%徐晓群%陈斌
黃嶽文%季凱春%李華維%孫勵斌%徐曉群%陳斌
황악문%계개춘%리화유%손려빈%서효군%진빈
多晶硅电池%等离子体预处理%氮化硅薄膜
多晶硅電池%等離子體預處理%氮化硅薄膜
다정규전지%등리자체예처리%담화규박막
采用H2、NH3和H2+NH3等离子体在沉积氮化硅薄膜之前对多晶硅片进行预处理,采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)制备氮化硅薄膜,然后印刷烧结.利用准稳态光电导衰减法(QSSPCD)、傅里叶红外光谱仪(FT-IR)和紫外可见近红外分光光度计(UV-VIS)等手段研究了等离子体预处理对多晶硅少子寿命的影响以及等离子体预处理对氮化硅薄膜FTIR光谱的影响和多晶电池性能的影响.结果表明:经等离子体预处理后多晶硅的少子寿命有所提高,使用H2+NH3混合等离子体预处理后,制备的多晶电池的性能有明显提高,短路电流能提高约7%.
採用H2、NH3和H2+NH3等離子體在沉積氮化硅薄膜之前對多晶硅片進行預處理,採用等離子增彊化學氣相沉積(PECVD)製備氮化硅薄膜,然後印刷燒結.利用準穩態光電導衰減法(QSSPCD)、傅裏葉紅外光譜儀(FT-IR)和紫外可見近紅外分光光度計(UV-VIS)等手段研究瞭等離子體預處理對多晶硅少子壽命的影響以及等離子體預處理對氮化硅薄膜FTIR光譜的影響和多晶電池性能的影響.結果錶明:經等離子體預處理後多晶硅的少子壽命有所提高,使用H2+NH3混閤等離子體預處理後,製備的多晶電池的性能有明顯提高,短路電流能提高約7%.
채용H2、NH3화H2+NH3등리자체재침적담화규박막지전대다정규편진행예처리,채용등리자증강화학기상침적(PECVD)제비담화규박막,연후인쇄소결.이용준은태광전도쇠감법(QSSPCD)、부리협홍외광보의(FT-IR)화자외가견근홍외분광광도계(UV-VIS)등수단연구료등리자체예처리대다정규소자수명적영향이급등리자체예처리대담화규박막FTIR광보적영향화다정전지성능적영향.결과표명:경등리자체예처리후다정규적소자수명유소제고,사용H2+NH3혼합등리자체예처리후,제비적다정전지적성능유명현제고,단로전류능제고약7%.
