光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2009年
9期
2435-2440
,共6页
测量%共相位检测%色散瑞利十涉%拼接镜面
測量%共相位檢測%色散瑞利十涉%拼接鏡麵
측량%공상위검측%색산서리십섭%병접경면
总结了常用的共相位检测方法,分析了各种方法的特点及其用于空间望远镜在轨检测的适用性.提出了一种新的基于色散瑞利干涉原理的共相位误差检测方法和相应的干涉条纹数据处理方法--二维色散条纹分析法.介绍了色散瑞利干涉法的基本原理,给出了其检测拼接主镜望远镜共相位误差的光路图.为验证所提出的方法,搭建了一套色散瑞利干涉仪检测共相位误差的实验验证装置.初步的实验结果表明所搭建的色散瑞利干涉实验装置的量程叮达到200μm,多次测量值的均方根误差(重复性)优于2 nm,共相位误差δ≤1 μm时,测量精度为6.56 nm,可以满足空基分块主镜望远镜在轨共相f{7=检测的要求.
總結瞭常用的共相位檢測方法,分析瞭各種方法的特點及其用于空間望遠鏡在軌檢測的適用性.提齣瞭一種新的基于色散瑞利榦涉原理的共相位誤差檢測方法和相應的榦涉條紋數據處理方法--二維色散條紋分析法.介紹瞭色散瑞利榦涉法的基本原理,給齣瞭其檢測拼接主鏡望遠鏡共相位誤差的光路圖.為驗證所提齣的方法,搭建瞭一套色散瑞利榦涉儀檢測共相位誤差的實驗驗證裝置.初步的實驗結果錶明所搭建的色散瑞利榦涉實驗裝置的量程叮達到200μm,多次測量值的均方根誤差(重複性)優于2 nm,共相位誤差δ≤1 μm時,測量精度為6.56 nm,可以滿足空基分塊主鏡望遠鏡在軌共相f{7=檢測的要求.
총결료상용적공상위검측방법,분석료각충방법적특점급기용우공간망원경재궤검측적괄용성.제출료일충신적기우색산서리간섭원리적공상위오차검측방법화상응적간섭조문수거처리방법--이유색산조문분석법.개소료색산서리간섭법적기본원리,급출료기검측병접주경망원경공상위오차적광로도.위험증소제출적방법,탑건료일투색산서리간섭의검측공상위오차적실험험증장치.초보적실험결과표명소탑건적색산서리간섭실험장치적량정정체도200μm,다차측량치적균방근오차(중복성)우우2 nm,공상위오차δ≤1 μm시,측량정도위6.56 nm,가이만족공기분괴주경망원경재궤공상f{7=검측적요구.
